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レーザー応用
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TFT-LCD レーザーリペアシステム (アレイ/セル/モジュール)

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TFT-LCD レーザーリペア

 
 
  • 高精度レーザー光学系
  • 様々な波長の選択: Nd YAG : 1064nm 532nm 355nm 266nm
  • 最小レーザーリペアサイズ: 3 μm x 3 μm (2um *2um オプション)
  • X、Y、Z軸の分解能:0.1um/パルス
  • X、Y、Z 軸の再現性 : 3um
  • 工業用顕微鏡とリニア型LLC搭載高解像度CCD
  • セミオートリペア機能
  • リアル時間オートフォーカス、時間≦1秒(オプション)
  • オープンディフェクトリペアシステム(オプション)
  • ワーク搬送システム用お客様のロボットと組み合わせたグラスバーステージ(オプション)
  • CIM システム (オプション)
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