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レーザー応用
レーザー応用

フォトマスクレーザーリペアシステム

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フォトマスクレーザーリペア

 
  • 社内でnano金属インク蒸着システムを開発
  • ヒートエアガンで材料を乾燥と焼成する
  • マスクラインを成形するための θ 45 ロータリーを備えたFLASH LAMP励起 YAG レーザー
  • 工業用顕微鏡、高解像CCD、リニアーレンズチェンジャー搭載
  • 最小スポットサイズ :3μm×3μm(レーザーリペア後)
  • ソフトウェア式オートフォーカス
  • 統合操作インターフェースシステム
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